多源同時マグネトロンスパッタ装置『FRS-HGシリーズ』

放電操作が容易！RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計

ソードに 加え、アークプラズマ蒸着源などスパッタリングとの相乗効果が期待できる 成膜ソースを搭載することが可能です。 【特長】 ■据付タイプながらコンパクト且つスタイリッシュな設計 ■RF電源にオートマッチングを採用しており、放電操作が容易 ■2源または3源の同時成膜により、薄膜の機能・性能の微調整が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』

初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレー…

Sシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の 卓上型マグネトロンスパッタ装置です。 基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで 構成される金属薄膜用スパッタ。 RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの 拡張オプションにより、研究ステージに合せて グレードアップしていただくことが可能です。 【特長】 ■初期導入コストを抑え、後の拡張で高性能化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、 それぞれのカソードにRF又はDC電圧を印加、または重畳して印加することも 可能です。 【事例概要】 ■納入先：地方独立行政法人大阪産業技術研究所様 ■納入製品：MS-3C100L型 ※詳しくはPDF資料を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

中古真空装置・機器販売のご案内

全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております

【取扱製品】 ■装置 　・真空蒸着装置 　・スパッタ装置 　・イオン注入装置 　・RF/DC電源 　・電子銃/電子銃用電源等 ■高真空ポンプ 　・ターボ分子ポンプ 　・クライオポンプ 　・油拡散ポンプ等 ■メカポンプ 　・油回転ポンプ 　・メカニカルブースターポンプ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテック 大阪本社