プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

【仕様（抜粋）】 ■測定質量範囲：m/z 1～80 ■動作圧力：2.0Pa 以下 ■最小検知濃度：5ppm（H2 を除く）H2：100ppm ■SEM感度：7.5 × 10^-5 A/Pa 以上 ■ファラディ感度 ：7.5 × 10^-9 A/Pa 以上 ■接続フランジ：φ 70ICF ■質量：分析管1.1kg　コントローラー2.2kg ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社