ウルトラファストダイヤフラムバルブ 『UFシリーズ』

超高純度ダイヤフラムバルブ。 原子層蒸着 （ALD) ・高速スイッチ（…

ウルトラファストシリーズは、原子層蒸着（ALDプロセス)用途に代表される、正確に同じ条件で安定稼働し続けることを要求される高速開閉かつ高温の高純度プロセス向けに設計されています。独自の流量調節メカニズム（特許出願中US61/910，079号）を採用し正確な流量を保つよう微調整しながら使用することが可能です。 ＜特長＞ ・高速バルブ開閉（バルブ反応時間： 5ms未満） ・超高寿命（１億回の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン