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真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途に対応
SFC280ERC ■仕様:精度±2% 応答性3秒以内(F.S.±2%到達) ■ガス種:ご注文時にご指定 ■流量範囲:フルスケール 10SCCM〜5SLMでご注文時にご指定 ■本体材質:SUS316L、バイトン ■継手サイズ:サイズ:1/8、1/4 ■タイプ:SWL、UJRタイプ ■5SLM〜20SLMの中流量対応のSFC281RCシリーズもご用意 □その他機能や詳細については...
メーカー・取り扱い企業: 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所
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300mmウエハープロセスに対応
度±0.5% 応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ) ■ガス種:ご注文時にご指定 ■流量範囲:フルスケール 10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定 ■本体材質:SUS316L、内面特殊電解研磨仕様 ■継手サイズ:1/4UJRタイプ、各社IGS対応可能 ■ラバーシール、電解研磨レスのSFC1480FRC/ROもご用意 □その他機能や詳細については、お問合わ...
メーカー・取り扱い企業: 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所
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