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プラズマ源 TESシリーズ_Polygon Physics社製
幅広い用途を網羅した超小型ECR(電子サイクロトロン共鳴)バイポーラ技…
小型低消費電力 ・用途に合わせてイオン源、電子源、プラズマ源、原子源を選択可能 ・ビーム形状やビームサイズを変換可能 ・フランジの有無で任意の場所に設置可能 ・メンテナンス性がよい ■モデル ・TES-GO ・TES-40 ・TES-63 ・TES-100 ・NanoVac ...
メーカー・取り扱い企業: ケイエルブイ株式会社
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