プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！

監視し、 半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。 『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高感度モデルOCEAN HDX等の 分光器と関連アクセサリにより構成することが可能です。 半導体製造装置への組み込み等の量産時や特注のアプリケーションにも対応します。 【特長】 ■広...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社