高性能ウェハ・マスク破断装置『AMCシリーズ』

SEM用断面観察試料を簡単に作製！最小±2.5μmの位置精度でのけがき…

高性能ウェハ・マスク破断装置『AMCシリーズ』は、タングステンカーバイドの ローラーを用いたSEM観察用断面試料を手軽に作製する為の装置です。 加工プロセスは、モニターを見ながらけがき位置のティーチングし、自動でけがきを開始します。 観察部は自動スキップされ、けがきによる内部応力を利用して試料を破断します。 電子顕微鏡のサンプルホルダー等に挿入できるように試料を切り出します。 『...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプコ