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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』
一次室の流路にフィルターを内蔵!特に純度の高いガスでも安心してお使いい…
『S-TORRV50/50SHシリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意。Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施しています。 一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求めら...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300SH/AH』
TORR調整器をベースに開発!Heリークテストを含め、出荷検査を全数に…
『S-TORRV2300SH/2300AHシリーズ』は、腐食性ガス用の圧力調整器です。 「STV2300SHシリーズ」は、要部部品と呼ばれる腐食性ガスの影響が 特に大きい部品に、「STV2300AHシリーズ」は、調整器本体の接ガス金属部 すべてに耐食性の高いNi-Cr-Mo合金を採用。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティ...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV30/30SHシリーズ』
接ガス部のネジ構造を排除!非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実…
『S-TORRV30/30SHシリーズ』は、一次室の流路にフィルターを内蔵し、 内部リーク発生を低減している超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い 圧縮ガスのシ...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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内部リークトラブルを低減!容器圧力から減圧済み圧力まで幅広く使用可能
『JET-Sc』は、低・高圧用の真鍮製一般工業ガス用圧力調整器です。 ダイヤフラムカバーにテフロンカバーを採用し、純度維持性能を向上。 容器圧力から減圧済み圧力まで幅広く使用可能で、カスタマイズ性に 富み、お客様の仕様に合わせた製品をご提供できます。 【特長】 ■カスタマイズ性に富み、お客様の仕様に合わせた製品をご提供できる ■ダイヤフラムカバーにテフロンカバーを採用し、純...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次側高圧用中流量機種!一次減圧設備に広くご使用いただいております
『S-TORRV2300シリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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小型のアウトレットパネルを設計可能!装置への組み込みにも好適な圧力調整…
『S-TORRV02シリーズ』は、本体径φ35、標準面間70.5mmという 非常に小型の圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意し...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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負圧制御、低蒸気圧用機種!一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク…
『S-TORRVA10シリーズ』は、負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを 負圧供給するシリンダーキャビネットで使用可能な圧力調整器です。 接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減。 タイドダイヤフラム式を採用しております。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意しています。 【特長】 ■...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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出荷検査を全数に実施!タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器の…
『S-TORRVT50シリーズ』は、タイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの 供給に強い構造となっている超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。接ガス部から スプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。 加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについ...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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