マスフローコントローラー

最新のCMOSensTM技術により開発されたマスフローコントローラー

センシリオン社の全てのマスフローコントローラーはパテント取得済みのCMOSens 技術を用いています。 シングルチップに高精細なカロリメトリックマイクロセンサ（MEMS）素子と増幅器及びA/D変換回路を単一のCMOSチップ上に一体化しています。デジタルでキャリブレートされ温度補正されたセンサ信号は直接CMOSensチップ上でPWM信号に変換され、バルブを制御する高速のアナログ制御回路で使用されま...

メーカー・取り扱い企業： センシリオン株式会社