超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロパーツ，サブ…

LIGAプロセスは，高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比(100程度)，滑らかな側壁(<50 nm)，自由な横方向形状を持つメタル構造，レジスト構造を実現します。 応用例 ･タルボ干渉計向けのX線回折格子 (日本を含め世界各国の研究所，産業界に導入) ･X線集光レンズ (放射光施設向...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ASICON

マイクロギア 超微細加工による高アスペクト比メタルパーツ

アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロメタルパーツ

■ 製造工程: LIGAプロセス 高アスペクト比を持つ微細構造を実現する複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比にて実現しています。 ■ マイクロギア例1 ハーモニックドライブ歯車(高精度マイクロマニピュレータ向け，高速度伝達比，バックラッシュ無し) 構造高さ1,100 µm，構造幅: 30 µm ■ マイクロギア例2 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ASICON