ウシオの光で出来ること『高速昇降温加熱』

ウシオの光で出来ること『高速昇降温加熱』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（高速昇降温加熱）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○熱容量が小さく、3000K以上のフィラメントから照射される 　輻射光により、...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（不純物拡散）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

ウシオの光で出来ること　熱する『乾燥』

ウシオの光で出来ること　熱する『乾燥』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（乾燥）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○ハロゲンランプヒータの非接触・クリーンで 　高速昇温性を持つ光加熱方式により 　金...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（加熱/成膜）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける 　金属膜、絶縁膜の形成に用い...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

ウシオの光で出来ること　熱する『接合』

ウシオの光で出来ること　熱する『接合』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（接合）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用 ○ハロゲンヒータの光は輻射熱として ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』

ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』

ウシオ社の新エネルギー技術開発用光源 太陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です 【特徴】 ○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は 　焼成炉、CVD、スパッタリングなどの装置において標準熱源として採用 ○半導体市場で培った高精度な、熱処理性能、FPD市場において 　長年実績を積んだ長尺ヒータは 　各種太陽電池製造プロセスで即戦力として採用 ●その他機能や詳...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

ウシオライティング「Sealeds」シリーズ　LED集魚灯

30年以上の歴史を誇る集魚灯事業のノウハウが集積！

30年以上の歴史を誇る集魚灯事業のノウハウが集積したLED集魚灯 耐久性と省エネを実現。メタハラ光源からの切り替えでは、大幅な電力削減、軽油代の削減が実現します。 光学ミラーを採用し、小型化を実現！軽量・コンパクトで、船舶への負担を軽減します。 濁り、潮流に対応。単色型と2色切り換え型を用意、色の選択が可能です。 ・単色は、電源内蔵で設置や取りはずしが容易 ・2色切り換え型は、電...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

小面積ソーラシミュレータ

低価格な擬似太陽光源､｢Class AAA｣の信頼性

軽量､省スペース､光軸調整が不要な放射照度：1 sunのソーラシミュレータ 【主な特長】 ●軽量､省スペース ｢放射照度場所ムラ｣､｢放射照度時間変動率｣､｢スペクトル合致度｣についてClass AAAに準拠した､軽量､コンパクトボディな装置です｡ ●光軸調整不要 自動センタリング機構と精度の高い専用ランプ設計により､ランプ交換や測光時の光軸調整が不要です｡ ●ユーザフレンドリ それ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

LEDフォロースポットライト

講堂や体育館での発表会などを､ 効果的に､エキサイティングに､鮮やか…

ステージ上の特定人物､ポイントを狙って､スポットライトを照射する演出照明用の機器です｡ 光源には､光にほとんど熱を含まないLEDを採用､瞬時点灯(操作性､省エネ性能の向上)､灯体温度の低減(安全性の向上)が図れます｡ また､一般的な150Wのメタルハライドフォロースポットライト相当の出力を達成､色温度も5000Kとしたことで､舞台の色彩､人物の顔色､衣装などを自然のままに再現､被照射物を鮮やか...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

500℃を超える高温域！高出力ラインヒータユニット

ユーザが求める温度、出力、寸法など！特性に合わせたランプ、ミラー形状、…

『高出力ラインヒータユニット（オーダーメイド）』は、500℃を超える高温域での 光コントロールを可能にする高出力な製品です。 ユーザが求める温度、出力、寸法など、特性に合わせたランプ、ミラー形状、 冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応。 ミラー形状は、フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、 パラボラタイプ N（コンパクト型・金メッキミラー仕様）をご用意しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

光加熱　総合カタログ

高効率なエネルギー源！赤外線ハロゲンヒータなどの光加熱製品をご紹介

当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を 掲載しております。 広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、 シリコンウェハの高温加熱装置等に適したサークル形ハロゲンヒータランプ 「QIR Circle」などをラインアップ。 その他にも「フラッシュランプアニール装置　SUS980 シリーズ」と 「LED アニール装置」についてもご紹介し...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』

ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置！大面積で一括照射、…

『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec)。 ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、 高照射が可能です。 【特長】 ■深さ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

【事例紹介】RTP（ラピッドサーマルプロセス）

【事例紹介】RTP（ラピッドサーマルプロセス）

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。 かつての半導体熱処理は、ファーネス（断熱）が一般的だったが ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり アイソサーマ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle

真空対応などの加工が可能！円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に…

『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの 高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。 円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサイズ、 特性に応じた設計ができ、真空対応などの加工も可能。 オーダーメイドシステムでは、最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、 設置条件、特性に合わせて設計できます。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

【事例紹介】浴室乾燥

【事例紹介】浴室乾燥

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、浴室乾燥の事例紹介です 【特徴】 ○浴室乾燥機にハロゲンヒータを採用 ○ハロゲンヒータの光は輻射熱として照射されるため 　温風タイプとは異なり、周囲環境に...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社