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非熱過程で分子の結合を切断することが可能！半導体関連分野での応用につい…
当資料では、「真空紫外エキシマランプ」の現状とその産業的応用について ご紹介しております。 エキシマとは励起状態の原子または分子1個と基底状態の原子または分子1個が 会合した二量体の総称。 「真空紫外エキシマラ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー
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1～2kW／m2の光照度の実現！高出力化に必要な要素技術の検討
1980年代の終わり頃、エキシマ発光を利用した高輝度な真空紫外光 ランプが開発されました。 例えば、キセノンガスを用いたエキシマランプでは、波長172nmの 真空紫外光を、100W／m2という高い光照度で生み出すことが...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー
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エアロゾルUVCクリーナーは本体内部に設置された紫外線ランプの周囲に室…
飛沫防止パーティション等で対策された換気のしにくい局所空間などで薬剤不使用で空気中の浮遊ウィルス・細菌を積極的に除菌を目的に開発いたしました。 特許出願中 PAT.P 独自の導風板を通じてUVC紫外線により空気中の浮遊ウィルスを抑制、清浄空気を循環させます。 ・スリムなタワー型で360°広範囲の空気中浮遊ウィルスを吸引、抑制、空気清浄 ・空中浮遊ウィルスを180分で99％...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エキシマ 横浜ラボ
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【技術資料】エキシマランプを用いた薄膜製造のプロセスの可能性
「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を利用！光CVD法の製膜速度に…
法には、真空蒸着法やPVD法、 プラズマCVD法など、様々な方法を採用。今後とも新たな製膜方法の 探索や開発が続けられていくものと考えられます。 そこで当資料では、「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を 利用した薄膜製造プロセスの可能性について、検討を行った結果を ご紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに ■「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を用いた光CVD...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー
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光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な産業分野への応用が可…
真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理法には「安価」 「大面積処理が容易」などの特色があります。 その為、光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な 産業分野への応用が可能です。 当...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー
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【技術資料】真空紫外エキシマランプを用いたポリエチレンの表面改質
波長172nmの真空紫外光をポリエチレンシートに照射！表面の改質につい…
1980年代後半に、誘電体バリア放電を利用した強力な真空紫外光源である キセノンエキシマランプが開発されました。 この光源で得られる波長172nmの光は、7.2eVという高いエネルギーを持ち、 様々な分子内結合を効率よく光解離が可能。 このため、ランプは液晶表示パネルに...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー
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真空紫外エキシマランプを使用！ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化…
浄や微細加工、 表面改質などへの応用が進められています。 当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、 加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下で キセノンエキシマランプ（172nm）を照射。 赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUVの 照射に伴うPVA膜の化学状態の変化を観測しました。 【特長】 ■はじめに ■実験 ■結果...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー
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殺菌・除菌効果はそのままで人体への悪影響をカットした新技術！UV-Cの…
Care222（R）とは、波長222nmをピークに持つエキシマランプに特殊な光学フィルタを組み合わせることで、 ヒトに悪影響を及ぼす230nm以上の波長をカットした、抗ウイルス・除菌技術です。 波長222nmの紫外線は、太陽光には含まれるものですが、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルテックス
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人体に影響なく、各種ウイルスなどに効果の見込めるオゾン濃度0.05pp…
【仕様】 ■外径寸法：W170×D148×H235 mm ※突起物含まず ■重量：1.3 kg ■オゾン生成ランプ：スマートエキシマUVランプ ■オゾン生成量：1～50 mg/h（空間の広さに合わせて16段階可変） ■オフタイマー：1h,2h,3h,4h,5h,6h,7h,8h,9h,10h,11h,12h,18h,24h...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社オーク製作所 本社
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【技術資料】湿式プロセスによるTiO2ゲル膜に対する光照射効果
薄膜形成プロセスの低温化に寄与！分解過程と結晶構造の変化について比較検…
光子の作用のみで原子の結合を開裂 できるため、薄膜形成プロセスの低温化に寄与するものと期待できます。 本研究では、工業的に多用されているTiO2について、ゲル膜を熱処理した ときおよび、エキシマランプによるVUV光照射と熱処理を併用したときの 分解過程と結晶構造の変化について比較検討しました。 【掲載内容】 ■はじめに ■実験方法 ■結果と考察 ※詳しくはPDF資料を...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー
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紫外・可視光透過スペクトルを分光光度計により測定！ゾル－ゲル薄膜の改質…
ずに、光子の作用のみで原子の結合を切断できるため、 薄膜の改質にも応用できると考えられます。 当資料では、ゾル－ゲル法により調整した酸化ニッケル薄膜に、実用的な 光源として開発されてきたエキシマランプを用いてVUV光を照射したときの 状態変化について紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに ■実験 ■結果と考察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー
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