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非熱過程で分子の結合を切断することが可能!半導体関連分野での応用につい…
当資料では、「真空紫外エキシマランプ」の現状とその産業的応用について ご紹介しております。 エキシマとは励起状態の原子または分子1個と基底状態の原子または分子1個が 会合した二量体の総称。 「真空紫外エキシマラ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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1~2kW/m2の光照度の実現!高出力化に必要な要素技術の検討
1980年代の終わり頃、エキシマ発光を利用した高輝度な真空紫外光 ランプが開発されました。 例えば、キセノンガスを用いたエキシマランプでは、波長172nmの 真空紫外光を、100W/m2という高い光照度で生み出すことが...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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【技術資料】エキシマランプを用いた薄膜製造のプロセスの可能性
「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を利用!光CVD法の製膜速度に…
法には、真空蒸着法やPVD法、 プラズマCVD法など、様々な方法を採用。今後とも新たな製膜方法の 探索や開発が続けられていくものと考えられます。 そこで当資料では、「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を 利用した薄膜製造プロセスの可能性について、検討を行った結果を ご紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに ■「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を用いた光CVD...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な産業分野への応用が可…
真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理法には「安価」 「大面積処理が容易」などの特色があります。 その為、光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な 産業分野への応用が可能です。 当...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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【技術資料】真空紫外エキシマランプを用いたポリエチレンの表面改質
波長172nmの真空紫外光をポリエチレンシートに照射!表面の改質につい…
1980年代後半に、誘電体バリア放電を利用した強力な真空紫外光源である キセノンエキシマランプが開発されました。 この光源で得られる波長172nmの光は、7.2eVという高いエネルギーを持ち、 様々な分子内結合を効率よく光解離が可能。 このため、ランプは液晶表示パネルに...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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真空紫外エキシマランプを使用!ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化…
浄や微細加工、 表面改質などへの応用が進められています。 当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、 加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下で キセノンエキシマランプ(172nm)を照射。 赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUVの 照射に伴うPVA膜の化学状態の変化を観測しました。 【特長】 ■はじめに ■実験 ■結果...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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【技術資料】湿式プロセスによるTiO2ゲル膜に対する光照射効果
薄膜形成プロセスの低温化に寄与!分解過程と結晶構造の変化について比較検…
光子の作用のみで原子の結合を開裂 できるため、薄膜形成プロセスの低温化に寄与するものと期待できます。 本研究では、工業的に多用されているTiO2について、ゲル膜を熱処理した ときおよび、エキシマランプによるVUV光照射と熱処理を併用したときの 分解過程と結晶構造の変化について比較検討しました。 【掲載内容】 ■はじめに ■実験方法 ■結果と考察 ※詳しくはPDF資料を...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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紫外・可視光透過スペクトルを分光光度計により測定!ゾル-ゲル薄膜の改質…
ずに、光子の作用のみで原子の結合を切断できるため、 薄膜の改質にも応用できると考えられます。 当資料では、ゾル-ゲル法により調整した酸化ニッケル薄膜に、実用的な 光源として開発されてきたエキシマランプを用いてVUV光を照射したときの 状態変化について紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに ■実験 ■結果と考察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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