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イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…
小型イオンビームエッチング装置は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載したイオンビームエッチング(IBE)装置です。 微細加工、金属及び磁性体材料もエッチング可能です。 【特長】 ○Au...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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マザーテクノロジーで未来を拓く アールムテック サービスご紹介
設備からの載替を行っています。 ●GCIB(ガスクラスターイオンビーム) 数十〜数万個の気体原子よりなるクラスターをイオン化し、適度なエネルギーに加速して照射する技術です。低エネルギーイオンエッチング、高品位成膜・表面平滑化が実証されています。 ●Multiple APC 高い安定性と幅広い互換性を兼ね備えたオート・プレッシャー・コントローラー ●DP-eco 電気代削減で環境に優し...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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コンパクト構造で、シンプルで低価格な設計になっています。超平坦化加工と…
化して適度なエネルギーに加速したビーム(GCIB)を非加工物に照射する事で表面の超平滑化や改質を低ダメージで行う事が出来ます。原子分子レベルの加工のため、すでに形状加工された微細構造物の平滑化やエッチング加工、表面加工が可能です。 【特長】 ■ナノオーダーの微細加工に適しています ■Ra 数ナノメートルの平坦化加工 ■反応性ガス処理対応 ■基板表面温度100℃以下での加工可能 ...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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