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価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行…
ＷＬＰは多様化したアプリケーションに対応する為、ＲＦパワーを下部電極に印加（ＲＩＥ方式）又は、上部電極に印加（ＤＰ方式）を実現しております。 ６～８インチのＳｉ、Ｐｏｌｙ-Ｓｉなどのエッチングやポリミド系樹脂のエッチング及びフォトレジストのアッシングなど多種多様なプロセスに御利用頂けます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト
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6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置
ラズマ処理装置です。 6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。 コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの2種類のプラズマ方式を切り替えられ、ポリイミド系樹脂のエッチングやフォトレジストの表面改質など多様な用途にご利用頂けます。 【特徴】 ○容易なプラズマモード切替 ○高速追従性...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト
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昨今の製造ニーズにお応え！低コストで高精度なウェットバス監視分析計
『TALYS ADP300シリーズ』は、ウェットエッチング、クリーニング、 またはフォトレジスト(PR)除去プロセスのリアルタイム、バッチ式、または シングルウエハツールの監視に適したデュアルチャンネル分析システムです。 リアルタイムでの薬液...
メーカー・取り扱い企業： ABBジャパン
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本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの２つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト
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本製品は、お客様の仕様に合わせてカスタマイズした製品の一例です。お客様…
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。 コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの２つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト
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