用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

CMPスラリーに最適なバルブのご提案

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。 このアプリケーションには,GEMÜよりPFA製のダイアフラムバルブ,グローブバルブ,計測器,フィッティングチューブをご提案できます。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【サニタリー・ダイアフラムバルブ】手動式『601型』

GEMÜ製（GEMU）手動ステンレスダイアフラムバルブ（ダイヤフラムバ…

、高いシール性を実現 ●耐薬品性のプラスチック製ハンド ⇒製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応 （CIP/SIP可能、オートクレーブ対応） ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●多彩なバルブボディ・ダイアフラム ⇒各種材質・仕様に変更可能 ●GEMÜ独自のガスケットシステム ⇒流路における液溜...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【２段階駆動ダイアフラムバルブ】空気操作式『658/688型』

GEMÜ製（GEMU）空気操作式ステンレスダイアフラムバルブ（ダイヤフ…

限流量）を設定 ⇒バルブ2つを用いた充填装置を、1つのバルブで置き換え可能！ ●製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応 ⇒CIP/SIP可能 ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●多彩なバルブボディ・ダイアフラム ⇒各種材質・仕様に変更可能 ●GEMÜ独自のガスケットシステム ⇒流路における液溜...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【充填ダイアフラムバルブ】空気操作式『660型』

GEMÜ製（GEMU）空気操作式ステンレス・フィリングダイアフラムバル…

●操作空気使用量が少ない ⇒迅速な作動が可能で、工程の省時間化を実現 ●製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応 ⇒CIP/SIP可能 ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●多彩なバルブボディ・ダイアフラム ⇒各種材質・仕様に変更可能 ●GEMÜ独自のガスケットシステム ⇒流路における液溜...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社