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様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です!
200VAC(3相)、60Hz、60A ・処理ガス1:02/2,000sccm ・ドライエア、パージガス(N2) ・ポンプ排気:7,000L/min ■ウエハ搬送方法 ・垂直動作カセットエレベーター ・水平・旋回動作吸着方式ロボット ・ウエハはみ出し、取り残し検知機能付き ■機能 ・10インチTFTカラータッチパネル ・シーケンサー ・シグナルタワー(3灯タ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リバティー
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熱エネルギーコスト、環境負荷低減!ライン洗浄温水、滅菌用温水等の温廃水…
【MF・UF・NF・RO膜モジュール(例)】 ■セラミック(MF/UF) エレメント PallExekia ■平膜(UF) カセット SartoriusStedim ■中空糸(MF/UF) モジュール 旭化成ケミカルズ ■スパイラル(NF/RO)モジュール 東レ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...
メーカー・取り扱い企業: 岩井ファルマテック株式会社 膜分離事業部
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