プラズマアッシング処理装置『WPA800S』

様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です！

200VAC(3相)、60Hz、60A 　・処理ガス1：02/2,000sccm 　・ドライエア、パージガス（N2） 　・ポンプ排気：7,000L/min ■ウエハ搬送方法 　・垂直動作カセットエレベーター 　・水平・旋回動作吸着方式ロボット 　・ウエハはみ出し、取り残し検知機能付き ■機能 　・10インチTFTカラータッチパネル 　・シーケンサー 　・シグナルタワー（3灯タ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー