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トリフルオロメタン CHF3 75-46-7 6N
無色、微臭の非導電性ガスで、ハロサンの理想的な代替品である。 トリフルオロメタンは、超臨界抽出法の溶媒、低温冷媒として使用できる。 また、消火剤、テトラフルオロエチレン製造用原料、電子工業用プラズマ化学エッチング剤、フッ素化合物原料としても使用される。 低温冷媒、消火剤、四フッ化エチレン製造原料として使用される。 低温(-100℃)冷媒、電子工業用プラズマ化学エッチング剤、有機フッ素化合物原料とし...
メーカー・取り扱い企業: CHEMFISH TOKYO株式会社 TOKYO
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ヘキサフルオロエタン C2F6 76-16-4
1.絶縁ガス、プラズマエッチング剤、高誘電率冷却剤として使用される。 2.マイクロエレクトロニクス産業において、プラズマエッチングガス、デバイス表面洗浄、光ファイバー製造、低温冷凍に使用される。 ヘキサフルオロエタンは、無毒、無臭、高安定性のため、半導体製造工程で広く使用されている,例えば、エッチャント(ドライエッチング)として。 化学蒸着(CVD、Chemical Vapor Deposit...
メーカー・取り扱い企業: CHEMFISH TOKYO株式会社 TOKYO
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三フッ化窒素 NF3 7783-54-2
NF3の3つの主な用途は、1、高エネルギー化学レーザーガス用のフッ素源として、2、エレクトロニクス産業(IC)におけるエッチング液および洗浄剤として、3、太陽光発電産業である。 NF3のその他の用途:パーフルオロアンモニウム塩の製造、電球の寿命と輝度を...
メーカー・取り扱い企業: CHEMFISH TOKYO株式会社 TOKYO
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