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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』
一次室の流路にフィルターを内蔵!特に純度の高いガスでも安心してお使いい…
ご用意。Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施しています。 一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や アウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用 いただいております。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV30/30SHシリーズ』
接ガス部のネジ構造を排除!非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実…
構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い 圧縮ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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負圧制御、低蒸気圧用機種!一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク…
『S-TORRVA10シリーズ』は、負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを 負圧供給するシリンダーキャビネットで使用可能な圧力調整器です。 接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減。 タイドダイヤフラム式を採用しております。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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接ガス部のネジ構造を排除!出荷検査を全数に実施した超高純度ガス用圧力調…
『S-TORRV1300シリーズ』は、一次高圧用の標準機種としてシリンダー キャビネットなどの一次減圧設備に広くご使用いただいている 超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次側高圧用中流量機種!一次減圧設備に広くご使用いただいております
ラム部の外部シールには メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■シリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に広く使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次側高圧用標準機種!電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…
圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に 広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側高圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルター...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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