特殊炭素製品　半導体製造用プロセス装置

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

グラファイトは耐熱性及び耐腐食性が必要な用途に最適な材料です。 特に液体薬品や化学ガスを使用する用途では、耐腐食性の高いグラファイトの使用が不可避です。...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

特殊炭素製品　フェルト

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

【特徴】 ○フェルトの種類には、グラファイト・フェルト、カーボン・フェルト、 　 高純度フェルト、成形断熱材（リジット・フェルト）等があります。 ○これらのフェルトは、高温用断熱材として利用されますと優れた特性を発揮します。 ○成形...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

CZウェーハ　成膜加工

2インチから12インチウェーハへの成膜が可能です。

系： TaN、Ta、Cu、Al、AlN、Al-Si、Al-Si-Cu、Ni、W、W-Si-Cu その他 Poly-Si、a-Si、SiC、Low-k(SiOC系、有機化学系）、グラフェン膜、グラファイト ＊SiO2,SiN,SiONなど膜種により1枚からでも対応が可能です。 ＊Suputter成膜にてTi,Cu,Cr,Niなど対応可能です。 ＊レジスト塗布/露光/エッチングは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社

【分析事例】グラフェンの官能基の評価

熱分解GC/MS法によりグラフェンの官能基の評価が可能

グラファイトの単層品であるグラフェンは、強靭性、高導電性、高熱安定性などの優れた特性から、電池、透明電極、センサー等、幅広い分野への応用が期待されています。また製法によって表面に存在する官能基の種類や量が異なると言われており、その構造を明らかにすることは性能向上を図る上で重要なポイントとなります。 本事例では熱分解GC/MS法により、2種のグラフェンの官能基を比較した事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST