角型ゲートバルブ

「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！

当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも...

メーカー・取り扱い企業： ナカンテクノ株式会社

ゲートバルブ『コンパクトコスラーズII』

小型化、軽量化を追及！IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介

『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご要求を反...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲート…

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ】 ■KOSLARZE-II：昇降用シリンダと...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

中古真空装置・機器販売のご案内

全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております

クライオポンプ 　・油拡散ポンプ等 ■メカポンプ 　・油回転ポンプ 　・メカニカルブースターポンプ 　・ドライポンプ 　・スクロールポンプ等 ■真空バルブ 　・L型バルブ 　・ゲートバルブ 　・バタフライバルブ 　・リークバルブ等 ■関連機器 　・真空計各種 　・マスフロー 　・キャパシタンスゲージ 　・膜厚計 　・液体窒素/オイルミストトラップ等 ■その他 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテック 大阪本社