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サイズは4inと8inをご用意!〇型□型試料に対応した高い汎用性を有し…
【仕様】 ■露光光源:照度分布±5%以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクトL/S 3μm ・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 ・Top-side ±1μm ・Bottom-side ±3μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
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マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』
露光光源照度分布は±5%以内!デスクトップ型と自立型のモデルをラインア…
±2μm、Bottom-sideにて±5μm としております。 【仕様(抜粋)】 ■ウェハサイズ:4in/6in/8in ■露光光源照度分布:±5%以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクト:L/S 3μm ・ハードコンタクト:L/S 1μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
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4inと8inサイズをご用意!アライメント露光が可能な多品種量産用半自…
社三明で取り扱っている『半自動マスクアライナー』をご紹介します。 当製品は、露光光源が照度分布±5%以内の多品種量産用半自動露光装置です。 自動ギャップ調整から手動アライメント、自動コンタクト露光、自動搬送の 流れで行うことができます。 詳細については、お気軽にご相談ください。 【仕様】 ■φ4in φ6in φ8in 仕様 ■Top-side アライメント ■B...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
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