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【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…
えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-111との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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