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53件 - メーカー・取り扱い企業
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48件 - カタログ
664件
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手元で簡単操作 位置決め対象を見ながら操作ができる
位置決め装置のステージコントローラ（シグマテック製）を手元で操作することができます。 ジョグによるステージ動作だけでなくコントローラにプログラムされた動作（ティーチング機能）を実行することができます。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）
サブミクロン分解能で位置決め！エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20～40…
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nm分解能で位置決めステージを制御！
1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。...型式：FC-911 接続対象ステージ：FS-10□０UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバッ…
[新型フィードバックステージコントローラの特長] 従来品との互換性を残しつつ、 ・通信コマンド数の増加 ・ティーチング機能追加 ・USBインターフェース追加 ・パラメータ数増加 などの追加により。多機能になりフィードバック...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製…
造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニアスケールを内蔵...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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![ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展] 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/885/2000275399/IPROS48519596292112749272.png?w=64&h=64)
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検査効率向上に！リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分…
独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。 ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。 可動域は20mm~300mm（分解能によりラインナップが異なります。） コント...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…
■ステージ 最小分解能：5nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：5nm 最大動作速度設定値：30mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、U...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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エンコーダ内蔵！高分解能位置決めステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ...
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：…
るのに適しています。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を位置決め後の位置保持性を備えております。 ※フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ ■詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…
えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-111との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ
ております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-111又はFC-411との組み合わせ...
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…
が可能 ○テーブルサイズ：60mm×60mm ○テーブル移動量：20mm ○対応真空度：10-４Pa ○耐荷重：49N ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 ●その他機能や詳細については、お問合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
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1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：クオーツガラス 対応コントローラ：FC-911...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…
ズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：50mm ○繰返し位置決め精度：±20nm ○対応真空度：10^-４Pa ○最小分解能：10nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-511...
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10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージに...
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検査や研究を効率化！5nm分解能で位置決め制御ができます。
5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-611 接続対象ステージ：FS-10□0...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114
100nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ
め、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。 ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場合にはこのコントローラを使用します。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414
50nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ
め、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。 ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場合にはこのコントローラを使用します。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め！再現性に優れ、20～200mmストロークのス…
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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5nm分解能で位置決め！再現性に優れ、可動距離がミリオーダー
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したス…
計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステ…
設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
■ステージ 最小分解能：1nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：5mm/sec（UPシリーズ） ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：1nm 最大動作速度設定値：6mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、US...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動…
■ステージ 最小分解能：100nm or 50nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～100mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：100nm or 50nm 最大動作速度設定値：100mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm…
■ステージ 最小分解能：10nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～100mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：10nm 最大動作速度設定値：50mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…
■ステージ 最小分解能：1nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：1nm 最大動作速度設定値：6mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、US...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…
を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。 ストロークは『40mm』となっています。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【100mmストローク】ロングストロークかつ高分解能な位置決めステージ
して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダで位置を検出してフィードバック制御を行っているため分解能・位置再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラFC-411と組み合わせた場合は『50nm』、FC-111と組み合わせた場合には『100nm』分解能で動作し、 ストローク範囲は『100mm』となっています。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…
なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…
検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。...型式：FC-411 接続対象ステージ：FS-10...
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【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…
ます。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)
[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…
な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：50mm ○対応真空度：10-４Pa ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 □ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください □...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…
00nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ１台で行うことができます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…
になっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
ております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
っております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)
[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ
が可能 ○テーブルサイズ：80mm×80mm ○テーブル移動量：40mm ○対応真空度：10-４Pa ○耐荷重：49N ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 □ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください□...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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