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軸シールにベローズを使用!ガス導入時大気の混入する心配がありません
『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして 適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。 【特長】 ■超高真空領域用...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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小型化と低価格を実現!高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブ…
『Vシリーズ』は、10^-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。 真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用。 高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブとして好適です。 また、圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用の ポジションセンサスイッチを装...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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