アプリケーション例『 スラリーの供給』

研磨性スラリーのハンドリングに最適なバルブをご提案

スラリーのハンドリングは,主に3ステップに分けられます。 ・調整と混合 ・供給と輸送 ・除去と回収 GEMÜ製品は抵抗の少ないシート形状で,バルブと流体の双方に負荷をかけない設計となっています。 接液部の材質はすべてPTFEまたはPFAとし,十分な耐薬品性を備えるとともに,砥粒を含むスラリーの研磨性に対しても高い耐久性を持ちます。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

CMPスラリーに最適なバルブのご提案

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。 このアプリケーションには...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【スラリー/高純度薬液対応】 超音波流量計

計測管内の障害物が少なく、スラリーのような粘性流体にも高精度で対応可能…

C38型は液体用の非接触式超音波流量計です。 計測管内に可動部品や障害物がないため圧力損失がほとんどなく洗浄も容易です。 接液部はすべてPFA 製,電子回路部はポリプロピレンによって完全に覆われているため,耐食性に優れています。浸食性・腐食性流体や,高純度の液体に最適です。 •計測頻度が250回/秒のため,脈動する流体に最適 •分析機能を備えた豊富なPC ソフトウェア •計測値の誤差...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社