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    カスタマイズ静電チャック

    把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。

    【オプション対応例】 ■ヒーター内蔵 ・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと 　融合させることで、高精度の温度制御が可能 ■高温対応 ・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、～500℃の 　高温環境での使用が可能 ■異常放電対策 ・当社ノウハウにより、ガス穴周りに発生し易い異常放電対策が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...

    メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

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