【研究施設】低風量型ドラフトチャンバー　MDA

PR最大級の内部有効空間をもつ化学用フードのフラグシップモデル

＜確固たる低風量化を支える深化した機構＞ 低風量型ドラフトチャンバー先進国のヨーロッパで約35,000台の実績のあるワルドナー社のサポート技術に、ダルトン独自の技術を融合させたグローバルスタンダードです。 ＜様々なシーンで万一に備える安全性の追求＞ ドラフトチャンバーに対する長年培ったノウハウとプライドをもってダルトン独自の厳しい基準で、ディテールまで配慮された基本性能です。 ＜行...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-114

100nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ

。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。 ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場合にはこのコントローラを使用します。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-414

50nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ

。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。 ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場合にはこのコントローラを使用します。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-514

10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージにスローダウンセンサが搭載されており、高速にロングストロークを高分解能に位置決めすること...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社