ウエハホットチャック 「PH-201C」

トッププレートの交換により、さまざまなワークに対応可能です。

ウエハホットチャック 「PH-201C」は、小型で、ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。 サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能。 貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応いたします。 【特徴】 ○最高温度 400℃ 対応 ○トッププレート構造で、プレートの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

加熱工程ウエハホットチャック　PH050

最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。

加熱工程ウエハホットチャック　PH050は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

加熱工程ウエハホットチャック　PH070

最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。

加熱工程ウエハホットチャック　PH070は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー