クリーンロボット『SWHR3156シリーズ』

酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適な防水対応クリーンロボット！

『SWHR3156シリーズ』は、300mmウエハ対応反転+エッジグリップ機能 付の3軸円筒座標型防水対応クリーンロボットです。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中の ウエハ搬送に適しております。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは156mm ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SSCR2090Sシリーズ』

小径ウエハ用のクリーンロボット！

『SSCR2090Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型 クリーンロボットです。 小フットプリント化と軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及び LED製造装置等の小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化 できます。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■可搬重量はアーム第3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル