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エンコーダ内蔵!高分解能位置決めステージ
0 mm 専用コントローラ使用時 分解能:100 nmまたは50 nm(内蔵スケール読み値) 再現性:±200nmまたは±100nm(内蔵スケール読み値) 最高移動速度:10 mm/s テーブルサイズ:80×60 mm 対応コントローラ:FC-111 or FC-411...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ
X(S) 分解能:100 nmまたは50 nm(内蔵スケール読み値) 再現性:±200nmまたは±100nm(内蔵スケール読み値) ストローク:40 mm 最高移動速度:10 mm/s テーブルサイズ:80×60 mm 対応コントローラ:FC-111 or FC-411...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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