半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」

小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

、8”ウエハ２枚の処理能力があります。 【特徴】 ○最高温度　300℃ 対応 ○温度コントローラーは、専用タイプにより 　プロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できる ○バルブ動作　自動対応（レシピに合わせてプログラム可能） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

必要なデータを取得（アナログ出力）できます。 【特徴】 ○空冷にて、最高温度400℃対応 ○小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適 ○観察窓により、ワークの状態が視認できる ○バルブ動作　自動対応（レシピに合わせてプログラム可能） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー