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価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を…
○RF電源 600~2000W 13.56MHz オートチューニング ○処理ガス O2 1系統増設可(オプション) ○パージガス N2 ○処理ステップ 10レシピ(3ステップ)+10ヒーターレシピ ○ウエハーサイズ ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エスクラフト
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