• 小型流量計測/制御ユニット『CUBEMFC』 製品画像

    小型流量計測/制御ユニット『CUBEMFC』

    簡単操作で流量計測・制御可能!コンパクト・軽量の一体型ユニット

    【仕様(一部)】 ■測定ガス気体  ・空気, 窒素, 二酸化炭素, アルゴン, 水素, ヘリウム, メタン, 酸素など ■バルブタイプ:ノーマルオープン ■流量レンジ:10SCCM-100SLM ■流量制御範囲:5-100% F.S. ■流量精度:±2%F.S.(動作保証範囲:15-...

    メーカー・取り扱い企業: エフコン株式会社 本社

  • マスフローコントローラ『1030/1050』 製品画像

    マスフローコントローラ『1030/1050』

    幅広い分野で使用可能!ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ

    【仕様(一部)】 ■測定ガス気体  ・空気, 窒素, 二酸化炭素, アルゴン, 水素, 酸素, ヘリウム ■バルブタイプ:ノーマルオープン ■流量レンジ:30SLM-50SLM ■流量制御範囲:5-100% F.S. ■流量精度:±2%F.S.(動作保証範囲:15-35℃) ■再現性:± ...

    メーカー・取り扱い企業: エフコン株式会社 本社

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