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最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローで…
対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素 など、腐食性の無いガス。 注：アンモニア仕様は特注できます。 ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級 IP 6...
メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社
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