マスフローコントローラ『Aera PI-980』

次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコント…

『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産歩留まりを改善します。 また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも 対応します。 【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』

標準のコネクタと寸法を確保！経済性に優れた高精度ラバーシールモデル

『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいて フィールドで活躍するマスフローコントローラです。 高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により 経済性を向上しています。 また、高速応答性で、設定値入力後2秒未満で流量が安定します。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

LOW-ΔP-FLOW低圧損・腐食性ガス用マスフローコントローラ

詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスに…

.10 mln/min 最大レンジ：20...1000 m3n/h 特徴 ・極低圧損 ・詰まりにくくパージし易い構造 ・工業仕様のハウジング(IP65)提供可能 低圧損マスフローコントローラLOW-ΔP-FLOWはコンパクト設計で、フローメータ、調節弁をワンボディーに収納された構成になっています。これらコンパクトモデルの最大流量キャパシティーは、運転条件にもよりますが、1.....

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！

『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、 優れた制御性を発揮します。 【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10s...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

最大50%コストカット！MFCの置き換え提案セミコン2023出展

まだマスフローコントローラ、使ってますか？比例制御電磁弁に置き換えれば…

マスフローコントローラーを使って流量制御を行っている場合、『比例制御電磁弁』に置き換えることで、大幅なコストダウンが実現します。 "無駄を無くしたい""コストダウンしたい”などの課題を解決します。 比例制御電磁弁のカスタム事例集は下記よりDLいただけます。 【課題解決策】 ■0.01～数百L/minまで幅広い流量レンジに対応可能 ■高精度な電磁弁による自動化が可能 ■簡単に使える専用...

メーカー・取り扱い企業： 日本アスコ株式会社

最大50%のコストカット！MFCの置き換えに『比例制御電磁弁』

まだマスフローコントローラ、使ってますか？比例制御電磁弁に置き換えれば…

マスフローコントローラーを使って流量制御を行っている場合、『比例制御電磁弁』に置き換えることで、大幅なコストダウンが実現します。 "無駄を無くしたい""コストダウンしたい”などの課題を解決します。 比例制御電磁弁のカスタム事例集は下記よりDLいただけます。 【課題解決策】 ■0.01～数百L/minまで幅広い流量レンジに対応可能 ■高精度な電磁弁による自動化が可能 ■簡単に使える専用...

メーカー・取り扱い企業： 日本アスコ株式会社

高真空、耐高温、高電圧、高密度！「半導体製造装置用コネクタ」

ワンタッチでの簡単操作の嵌合・脱着が可能な小型コネクタ！ 振動、ねじ…

■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■ モールド装置 ■ 露光装置光源 小型同軸 ■ 電子ビーム描画装置 ■ 測長SEM　他　検査測定装置 ■ PZT駆動装置 ■ 各種センサ 詳しくはお問い合わせ、...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社