マスフローコントローラ | イプロス医薬食品技術

最大差圧1.0MPa（10bar）でも制御可能、一台で1.6-80L/…

高差圧でもレンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.3秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！本製品Type8712は、 ●最大差圧...

メーカー・取り扱い企業：ビュルケルトジャパン株式会社

デバイスネット対応マスフローコントローラ　MC-5000L

デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラで…

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile) ○高性能（メタルシ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

マスフローコントローラ『Aera PI-980』

次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコント…

『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフローコントローラです。優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも対応します。【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＩＢＳ

マスフローコントローラ　MODEL8700/3660SERIES

温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能！　N2、…

当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、アナログ入出力0-5VDC（4-...

メーカー・取り扱い企業：コフロック株式会社本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』

標準のコネクタと寸法を確保！経済性に優れた高精度ラバーシールモデル

『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいてフィールドで活躍するマスフローコントローラです。高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により経済性を向上しています。また、高速応答性で、設定値入力後2秒未満で流量が安定します。【特長...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＩＢＳ

LOW-ΔP-FLOW低圧損・腐食性ガス用マスフローコントローラ

詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスに…

.10 mln/min 最大レンジ：20...1000 m3n/h 特徴・極低圧損・詰まりにくくパージし易い構造・工業仕様のハウジング(IP65)提供可能低圧損マスフローコントローラLOW-ΔP-FLOWはコンパクト設計で、フローメータ、調節弁をワンボディーに収納された構成になっています。これらコンパクトモデルの最大流量キャパシティーは、運転条件にもよりますが、1.....

メーカー・取り扱い企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社

マスフローコントローラ　トラブル事例集

マスフローコントローラのバルブ詰りなどのトラブル事例を掲載！

『マスフローコントローラ　トラブル事例集』は、マスフローコントローラに関する様々なトラブルの事象、原因、対応等の事例を掲載した事例集です。【掲載事例】 ■マスフローコントローラのバルブ詰り ■マス...

メーカー・取り扱い企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社

バリアブルレンジ対応マスフローコントローラ　MC-700

低価格でありながらマルチレンジに対応したマスフローコントローラです

MFC上部あるロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能なマスフローコントローラです。【特長】 ○短納期対応モデル ○高速・高性能なピエゾアクチュエータ搭載 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

マスフローコントローラ『1030/1050』

幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ

『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と信頼性を高めています。ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・バイオ・...

メーカー・取り扱い企業：エフコン株式会社本社

マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！

『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。主要なガス制御アプリケーションに適しています。⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、優れた制御性を発揮します。【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10s...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＩＢＳ

高速応答マスフローコントローラ『MC-7000シリーズ』

Auシール、ピエゾアクチュエータを採用！各種デジタルインターフェイスに…

『MC-7000シリーズ』は、サーマルセンサで200msec以下の高速応答を実現した高速応答マスフローコントローラです。リンテック独自の自己温度補正方式を採用することで、腐食性ガスや液化ガスにも対応し、流量精度は±1.0% S.P.を保証。また、DeviceNetやEtherCAT...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

マスフローコントローラ EL-FLOW Classic

OEMに最適。コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、アナログ…

EL-FLOW Classicシリーズ　デジタルマスフローコントローラは、ブロンコストの最新技術を盛り込みつつ、流量測定・制御という基本的な機能に特化して価格を抑えたモデルです。アナログI/O対応(デジタル通信非対応)、標準ガス(Air, N2, H...

メーカー・取り扱い企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社

汎用型マスフローコントローラ『1179C』

標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能…

『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで高速で再現性の高い流量制御が可能です。また適合する圧カトランスデューサを接続すること...

メーカー・取り扱い企業：日本エム・ケー・エス株式会社

流量・圧力計測機器＜バイオ医薬品・ライフサイエンス業界＞

歩留まりや工程管理を安定させるために、信頼性の高い、正確な機器を！

は、細胞培養の歩留まりの向上とバイオプロセスコストの抑制に役立ち、流量および圧力コントローラは、信頼性、再現性、および長期安定性のためのグローバルスタンダードを確立。また、マスフローコントローラ（MFC）は、バイオテクノロジーの研究および生産の主要な要件を満たしています。【特長】 ■高効率で長期間安定したプロセス制御 ■精度の高い測定データの確保 ■柔軟性と使い...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。【特...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

【世界最小の流量計】コリオリ式マスフローメータ/コントローラ

《液体/気体に適応》研究向きな高精度流量計！

●mini CORI-FLOW質量流量計 →・直接質量計測、流体の物理特性に無関係　・高精度、高繰返し性　・容易なレンジ変更(マルチレンジ) ●mini CORI-FLOWマスフローコントローラ →・高速、安定制御　・PIDコントローラ付インテグレートエレクトニクス　・コンパクト設計・サーマル式MFCと同じフートプリント　・外部メタルシール：Kalrezプランジャー...

メーカー・取り扱い企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラで簡単・確実に！

ビュルケルトのマスフローコントローラは小～大流量を1台で簡単に制御でき…

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラ（MFC）がおすすめです！ Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応した”簡単にお使い頂ける”マスフローコ...

メーカー・取り扱い企業：ビュルケルトジャパン株式会社

1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。流量…

産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 2月26(水)～28(金)の機械要素展に出展いたしますので、ぜひ直接ご覧になってください！各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画...

メーカー・取り扱い企業：ビュルケルトジャパン株式会社

LFC(液体用流量コントローラ)

ビュルケルトのLFC（リキッドフローコントローラ）は、15～600ml…

　ビュルケルトのLFC（リキッドフローコントローラ）は、15～600ml/minの液体流量を計測・コントロールします。　市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：ビュルケルトジャパン株式会社

エフコン株式会社会社案内

生産装置への搭載、研究・開発など幅広い分野に対応！流量制御はお任せくだ…

エフコン株式会社は、マスフローコントローラをはじめとする流量制御機器の製造メーカーです。 マスフローコントローラとは、ガスや液体の質量流量を計測し流量制御を行う機器であり、高精度な流量計測・制御を求められるプロセスに...

メーカー・取り扱い企業：エフコン株式会社本社

サーマル式マスフローコントローラ　EL-FLOW Base

コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、新しいマスフローコント…

EL-FLOW Baseシリーズ　マスフローコントローラはブロンコストの最新の技術を取り入れつつ、標準的な機能に絞り込んで価格を抑えた低価格モデルです。特にOEM向けに開発されたファーストレスポンス・マスフローコントローラです。一般...

メーカー・取り扱い企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社

ガス希釈装置

サンプルガスと希釈ガスをマスフローコントローラで調整！希釈設定を制御す…

当製品は、サンプルガスと希釈ガスをマスフローコントローラで整え、希釈設定を制御する装置です。各種ガスを一定流量供給する装置(ガス定流量供給装置)や2種類以上のガスの流量を調整。任意の濃度のガスを製造・供給します。ガス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社松見科学計測

細胞培養や微生物発酵の研究に！新型バイオリアクターHABITAT

本機一台で様々な用途に使用可能！新しいミキシング方式「カオスモード」を…

者権限でPID温度制御を変更することができる ■処理量に合わせ撹拌モーターサイズを選択可能 ■バイオリアクターの軽量化とより手軽な取り扱いを実現 ■空気、N2、O2、CO2の供給は、マスフローコントローラで個別に調整 ■コスト削減と機能性、データセキュリティの向上を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： IKAジャパン株式会社

Type8611:各種センサと接続しPI制御可能なコントローラ

調節計を搭載しているので、センサとの接続により容易で安価なローカル制御…

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業：ビュルケルトジャパン株式会社

ガス混合用チャンバ (gas mixing chambers)

2種類のガスを混合するためのミキシングチャンバです。ブロンコストのマス…

ブロンコストのマスフローコントローラを用いて混合ガスを生成する場合にお使い頂ける、ガス混合チャンバです。入出口継手1/4"ODと6 mm ODの2つのモデルがございます。小流量用の1/8"チューブが乱流を生み...

メーカー・取り扱い企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社

コンパクトディジタル　マスフローコントローラ

300mmウエハープロセスに対応

ワイドレンジでの高精度、高速応答を実現したマスフローコントローラ

メーカー・取り扱い企業：川口液化ケミカル株式会社川口事業所

ローコスト　マスフローコントローラ　SFC280ERC

真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途に対応

ガス・真空・低温機器供給のR＆D、川口液化ケミカル社が取扱うローコスト・マスフローコントローラのご紹介です...

メーカー・取り扱い企業：川口液化ケミカル株式会社川口事業所

Type8605比例電磁弁用コントローラ

ビュルケルト比例電磁弁のレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリ…

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業：ビュルケルトジャパン株式会社

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略…

サーマルマスフローコントローラ／メータ『SLA5800シリーズ』は、カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

最大50%コストカット！MFCの置き換え提案セミコン2023出展

まだマスフローコントローラ、使ってますか？比例制御電磁弁に置き換えれば…

マスフローコントローラーを使って流量制御を行っている場合、『比例制御電磁弁』に置き換えることで、大幅なコストダウンが実現します。 "無駄を無くしたい""コストダウンしたい”などの課題を解決します。比例制御電磁弁のカスタム事例集は下記よりDLいただけます。【課題解決策】 ■0.01～数百L/minまで幅広い流量レンジに対応可能 ■高精度な電磁弁による自動化が可能 ■簡単に使える専用...

メーカー・取り扱い企業：日本アスコ株式会社

最大50%のコストカット！MFCの置き換えに『比例制御電磁弁』

まだマスフローコントローラ、使ってますか？比例制御電磁弁に置き換えれば…

マスフローコントローラーを使って流量制御を行っている場合、『比例制御電磁弁』に置き換えることで、大幅なコストダウンが実現します。 "無駄を無くしたい""コストダウンしたい”などの課題を解決します。比例制御電磁弁のカスタム事例集は下記よりDLいただけます。【課題解決策】 ■0.01～数百L/minまで幅広い流量レンジに対応可能 ■高精度な電磁弁による自動化が可能 ■簡単に使える専用...

メーカー・取り扱い企業：日本アスコ株式会社

気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーし…

【ラインアップ】 ■気体・液体用マスフローコントローラ ・SLA5800シリーズ IP40-汎用マスフロー・GF40 シリーズコンパクトマスフロー・GF100 シリーズ高純度マスフロー・Quantim コリオリマスフロー ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。従って例えば、分給等へのアプリケーション...

メーカー・取り扱い企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社

mini CORI-FLOW 液体分給システム　ポンプシステム

マスフロー制御ポンプ採用！調節弁制御に代わる制御方式の液体分給システム

「mini CORI-FLOW(R) 液体分給システム（ポンプシステム）」はコリオリ式フローメータ、ギアポンプ、フィルター、チェック弁とそれらを結合する配管から構成されています。電気的、メカニカル的に全て結合され、PIDコントローラの最適化、総合テストを経て供給されます。ポンプは極小流量から比較的大流量、高圧、ワイド制御レンジ、過激な流体用シリーズが揃っています。アナログモードでの運転...

メーカー・取り扱い企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社

ALICAT　バイオリアクター向け高精度マスフローコントローラー

アリキャット BIOシリーズ！信頼性、適応性、互換性のあるフローコ…

【BIOシリーズ】は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による10msの高速応答ができるマスフローコントローラー。・長期間の安定性：極めて低いゼロドリフト・プロセス水汚染に対する保証・高コントラスト、くっきりディスプレイ・ASME（アメリカ機械学会）推奨：316Lステンレス鋼と...

メーカー・取り扱い企業：日本スターテクノ株式会社

液体用マスフローメータ　LM-3000L series

各種液体流量を精密計測します

0.01〜20g/min (C2H5OH換算) の計測が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。コントロールバルブ（当社CVシリーズ）と接続する事により、液体マスフローコントローラとしても使用可能です。【特長】 ○各種液体材料の高精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ（特許出願中）採用、　電子回路はデジタル化され、高速、高精度...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

液体用マスフローコントローラ　LC-3000L series

当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します

ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デ…

独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントロー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

低差圧マスフローコントローラ　MC-3000S series

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです

独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用イ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

大気圧プラズマ向　マスフローコントローラ（MFC）

最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローで…

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。＊保護等級　IP 65　取得機種有り ...

メーカー・取り扱い企業：ビュルケルトジャパン株式会社

サーマル式　液体用マスフローコントローラ　

スルータイプのセンサーをを採用

新しい熱力学的原理センサ設計(国際特許)に基づいた、液体用マスフローコントローラ

メーカー・取り扱い企業：川口液化ケミカル株式会社川口事業所

水圧制御に対応！比例電磁弁Type2873最大1.6[MPa]

アクアドライブシステム等での水圧コントロールにも対応可能で最大閉め切り…

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業：ビュルケルトジャパン株式会社

MCQ社製ガスミキサ GB3000／4000／6000

流量0～5,000ml/分/ch (入力ガス3～6chに対応)・実ガス…

スの混合および希釈を生成、管理、制御、測定するための最良のソリューションです。また、タッチディスプレイまたは付属ソフトウェアで混合ガスを管理・制御することが可能です。従来の複数台のマスフローコントローラを使用したシステムに代わる革新的なオールインワンシステムです。 3チャンネル、4チャンネル、6チャンネルの各仕様をご用意しております。...

メーカー・取り扱い企業：日本カンタム・デザイン株式会社

Type2875比例電磁弁(ソレノイドバルブ) 液体でも使用可

任意の流量・圧力調整が可能な、高精度比例制御電磁弁[液体でも使用可能]

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業：ビュルケルトジャパン株式会社

1種危険場所向け防爆マスフローメータ『EX-FLOWシリーズ』

国内防爆(TIIS)認証取得！堅牢設計で、危険場所でのガス流量測定や制…

認証（Ex ib IIC T4 Gb）と TIIS認証（Ex ib IIC T4）を取得し、電装部ハウジングはIP65等級。さらに、耐圧防爆タイプのエア駆動弁などとの組み合わせでマスフローコントローラも構成可能。【主な適用例】 ■（石油）化学産業用プロセスガスの流量測定・制御 ■燃料電池技術 ■ガス分配システム ■水素化プロセス ■社内会計用ガス消費量測定・管理 ■...

メーカー・取り扱い企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社