mini CORI-FLOW 液体分給システム　ポンプシステム

マスフロー制御ポンプ採用！調節弁制御に代わる制御方式の液体分給システム

「mini CORI-FLOW(R) 液体分給システム（ポンプシステム）」はコリオリ式フローメータ、ギアポンプ、フィルター、チェック弁とそれらを結合する配管から構成されています。 電気的、メカニカル的に全て結合され、PIDコントローラの最適化、総合テストを経て供給されます。 ポンプは極小流量から比較的大流量、高圧、ワイド制御レンジ、過激な流体用シリーズが揃っています。 アナログモードでの運転...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

【資料】真空コネクタソリューション

今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…

■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■ モールド装置 ■ 露光装置光源 小型同軸 ■ 電子ビーム描画装置 ■ 測長SEM　他　検査測定装置 ■ PZT駆動装置 ■ 各種センサ 詳しくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

Type6223比例電磁弁(ソレノイドバルブ）-液体専用-

任意の流量・圧力調整が可能な、高精度比例制御電磁弁[液体でも使用可能]

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type6024比例電磁弁（液体でも使用可) ソレノイドバルブ

任意の流量・圧力調整が可能な、高精度比例制御電磁弁[液体でも使用可能]

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

【資料】小型・高密度コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の進化に対して小型高密度製品で「お客様のダウ…

■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■ モールド装置 ■ 露光装置光源 小型同軸 ■ 電子ビーム描画装置 ■ 測長SEM　他　検査測定装置 ■ PZT駆動装置 ■ 各種センサ 詳しくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社