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欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微…
【仕様】 ■モーター駆動XYステージ ・最大移動範囲:150 mm × 150 mm ・繰り返し誤差:2 µm ■モーター駆動Zステージ ・Z移動距離:25 mm ・分解能:0.1 µm ・繰り...
メーカー・取り扱い企業: パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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