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ハイエンドモデルの卓上SEM
上SEMでは業界最高の分解能5nm(最大倍率 150,000x)を実現し、加速電圧は1kV~30kVまで使用可能です。低真空モー ド / 高真空モードの切り替え、二次電子像 / 反射電子像の取得、モーター制御の5軸ステージ、アパーチャーサイズの切り替え機能などが全て標準搭載されております。また、オプションでEDS検出器(元素分析)や冷却ステージなどの追加も可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サイエンスラボラトリーズ
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欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微…
【仕様】 ■モーター駆動XYステージ ・最大移動範囲:150 mm × 150 mm ・繰り返し誤差:2 µm ■モーター駆動Zステージ ・Z移動距離:25 mm ・分解能:0.1 µm ・繰り...
メーカー・取り扱い企業: パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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