*ドライポンプACPシリーズ

業界トップクラスの基本性能

ョン：水蒸気排気用 4. CPバージョン：ガス循環用 5. Rバージョン：耐放射線仕様 •多彩なオプションをご用意：パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等 •単相/三相モーター選択可能...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*ドライポンプAシリーズ

業界トップクラスの基本性能

•ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ •低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能 •高効率モーター採用による低消費電力化を実現 •コンパクト設計　設置面積 0.17m2　縦置き・横置き選択可能 •2段積み可能（吸気口向き水平のみ） A103P •ミディアムプロセス向け（エッチャー、...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*ロータリーポンプDUOシリーズ ／ 2 段式ステージ

業界トップクラスの基本性能

マグネットカップリング採用 (M タイプ) 従来のようなシャフトシール部からのオイル漏れなし リークタイト(10-6 pa m3/s) DCモーターバージョン •DC24V入力電圧で駆動 •運転時温度範囲：-20℃～＋60℃ •低い消費電力　<100W •低騒音　<50dB(A)...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*ルーツポンプHiLobeシリーズ

業界トップクラスの基本性能

) ・本体リークレート1x10＾-6 (Pa m3/s) ・コンパクト 　50% 省スペース*同等製品と比較） 　60% 軽量化 *同等製品と比較） ・多彩なインテリジェント ・高効率モーター（IE4）搭載 ・省エネ / 10年間の保有コストは弊社従来品と比較して約50%の改善 ・周波数変換器により排気速度可変 　従来のルーツポンプと比較して約20%の排気時間の短縮が可能...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社