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コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物…
【製品仕様】 スパッタ方式:RFマグネトロンスパッタ方式 カソード:φ2インチ×3源/水冷式 スパッタアップ スパッタ電源:RF電源 13.56MHz Max. 200W(手動式マッチングユニット付) 到達真空度:10^-4 Pa台 寸法: SVC-700RFIII(制御ユニット):W370×D310×H195mm RF CONTROL UNIT:W370×D310×H158m...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」
ターゲットは3種類同時に装着可能!多層膜を作製することが可能です。
小型の成膜装置です。 ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特長】 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付けられる構造 ○抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 →排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 詳しくはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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個人差のないカーボン蒸着が可能に! EPMA・分析SEMの前処理用とし…
ーボン蒸着を実現 〇蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省く 〇ロータリーポンプのみによる排気(低真空)のため、試料表面へのカーボン粒子の回り込みに優れる 〇オプションのマグネトロンスパッタユニット(SC-MC)を取り付けることにより、金属のスパッタコーターとして使用することができます。 ...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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小型成膜装置!ターゲットは3種類同時に装着可能です。
トを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特徴】 ○ターゲットは3種類同時に装着可能 ○真空中にターゲットを選択でき、多層膜を作製可能 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付可能 ○排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 →抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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