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ダメージレス蒸着
日本電子株式会社 BS-60310BDS ボンバード蒸着源 蒸着材料を充填したライナーの裏面に、電子ビームを照射し、電子衝撃 (ボンバード) によりライナーを加熱します。蒸着材料には直接電子ビームを当てません。 〇特長 ・間接加熱方式 ・成膜中の反射電子ダメージとX線ダメージなし...
メーカー・取り扱い企業: アズサイエンス株式会社 松本本社
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ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応
ード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。 従来機種 (BS-60310BDS) にビームスキャン機能を増設したことにより ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応等の特長が得られます。 〇特長 ・ライナー大容量化。 ・ハイレート化 ・大型装置対応。 ・厚膜対応。赤外用途への対応も可能 ・レート安定化 ・低ダメージ・低欠陥・低吸収 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせく...
メーカー・取り扱い企業: アズサイエンス株式会社 松本本社
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光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏…
酸化物や化合物、昇華性物質など様々な材料を蒸発させる事ができます。 ・水冷銅るつぼ内(※)の蒸発材料を直接加熱するため、抵抗加熱式や誘導加熱式のようにボートやるつぼとの反応がありません。 ※ハースライナーを使用する場合もあります。 ・高速で出力制御できるため、精密な膜厚制御が可能です。 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: アズサイエンス株式会社 松本本社
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用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置
搭載することが可能。 ・電子銃+反射電子トラップ、またはボンバード蒸着減により、低温・低ダメージ蒸着が可能。特にレジストを用いるリフトオフ蒸着に有効。 ・アルミの安定蒸着ができ、繰り返し使用できるライナーもご提供。 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: アズサイエンス株式会社 松本本社
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