ピュアスチーム発生装置

PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。

本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。 さらに、独自の圧力制御（予測制御）により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L＋EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。 【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...

メーカー・取り扱い企業： クリーンメカニカル株式会社 本社

CKD 窒素ガス精製ユニット『NSシリーズ』

PR圧縮空気を供給するだけで手軽に「窒素（N2）」を精製！もう大規模な設備…

『NSシリーズ』は、食品の加工や包装工程、レーザー加工機などに使用される窒素ガスを 圧縮空気から高純度に分離精製する窒素ガス精製ユニットです。 簡単に連結ができるモジュール設計を取り入れ、フィルタ類やレギュレータ、 絞り弁などの機器をコンパクトにシステム化が可能です。 また、精製は膜分離式のため電源が不要で、防爆雰囲気や異電圧地域でも使用でき、 電気ノイズや発熱、駆動音等にかかわる問...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

株式会社フジキン『センシェントバルブ』IoTバルブ

バルブの開閉をセンシングします！

センサによりバルブの外部へのリークを検知。 またバルブの開閉や温度を正確に検知することが可能になりました。 バルブに不具合が起こる前に 劣化部品の交換時期を知ることが出来るため、 装置の長期信頼性を向上させることが出来ます。 ※詳細はお問い合わせください。 ...■半導体製造装置用　超小型IoTバルブ 超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、 超小型IGS...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

フローコントロールシステム『超小型 FCS-P』

ガス流体を高精度コントロール！ガス種を選ばず、装置ユニットの自由度が高…

『超小型 FCS-P』は、小型かつ軽量で、流量精度が既存モデルより向上した フローコントロールシステムです。 取り付け姿勢の影響を受けず、流量自己診断機能を搭載。 フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで様々な ガス種に対応します。 【特長】 ■小型かつ軽量 ■流量精度が既存モデルより向上 ■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社