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金属、ウエハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での加熱プロセス、材…
熱プロセス、材料評価に最適です。 【仕様カスタマイズ】 ○温度制御範囲 室温~200℃ ○プレートサイズ 200×200mm ○圧力範囲 -100KPa(真空)~0.02MPa(N2ガス充填時) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー
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半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」
小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。
【仕様】 ○温度制御範囲:室温~300℃ ○ワークサイズ:最大430×270mm ○昇温スピード:20℃/min ○圧力範囲:-100KPa(真空)~0.02MPa(N2ガス充填時) ○酸素濃度計、ピラニ真空計、温度モニター用ポート ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー
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加熱源に薄型ヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応
度制御範囲:室温~400℃ ○ワークサイズ:最大200×200mm ○チャンバー高さ:200mm ○昇温スピード:100℃/min ○圧力範囲:-100KPa(真空)~0.1MPa(N2ガス充填時) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー
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高速昇温による温度評価に最適です!!
最高温度は600℃。温度モニター機能付きです。チャンバー部は窒素雰囲気(充填式)です。昇温スピードは10℃/sec、温度分布は±5%です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー
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半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」
最高温度400℃!小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。
℃(カスタマイズ可) ○ワークサイズ:最大200×200mm(カスタマイズ可) ○昇温スピード:100℃/min(カスタマイズ可) ○圧力範囲:-100KPa(真空)~0.02MPa(N2ガス充填時) ○酸素濃度計、ピラニ真空計、温度モニター用ポート ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー
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プロセスの確認に必要なデータを取得(アナログ出力)できます。
度制御範囲:室温~400℃ ○ワークサイズ:最大200×200mm ○チャンバー高さ:200mm ○昇温スピード:100℃/min ○圧力範囲:-100KPa(真空)~0.1MPa(N2ガス充填時) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー
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