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DP-Fノンメタル:ダイヤフラムポンプ"DP- FsEシリーズ"
半導体産業用 電気切替ダイヤフラムポンプ DP- FsEシリーズ
じめポンプ本体の接液部も全て フッ素樹脂(PTFE・PFA)を使用した樹脂タイプのポンプ ■強酸・強アルカリ液などに優れた耐食性を持つ ■温度変化のある環境やCMPスラリー移送に好適 ■光ファイバー式ストロークセンサーを採用し、 防爆仕様の外部電子制御が可能 ※詳細は、お問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤマダコーポレーション
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DP-FノンメタルDP- FE/Dシリーズ(外部電子制御タイプ)
半導体産業用ダイヤフラムポンプ(外部電子制御タイプ)
DP-Fノンメタルシリーズ:半導体産業用 電気切替DP- FE/Dシリーズ(外部電子制御タイプ) 【特徴】 ■半導体プロセス対応モデル ■ポンプに光ファイバー式ストロークセンサーを 内蔵したノンメタル・防爆モデル ■ダイアフラムのストロークエンドを近接センサが検知、 センサー信号を受けたコントローラがセンターエキゾースト型の 3ポジション5ポ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤマダコーポレーション
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