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高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…
eCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェハー基板からのガス放出測定 ■接合ウェハー界面のガス分析 ■MEMSデ...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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受託サービス:質量ガス分析<分析システムの解説付き資料進呈>
高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…
おります。 分析装置に“低ガス放出”の0.2%BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェハ基板からのガス放出測定 ■MEMSデバイスチップ内の残留ガ...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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超高感度 質量分析装置 WATMASS-MPH DAシステム
【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの…
弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』では破壊及び、 リーク量(10^-15Pa・m3/s 以下)の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに! ★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析(ガス分析)も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置 ■産総研殿の測定精度評価を取...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減!一般的な四重…
で、ESDガス放出を低減。 電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。 【アプリケーション例】 ■XHV/UHVの高精度な質量分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析(質量分析) ■微量ガス分析(TDS/Out Gas) ■封止デバイス/MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3/s...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアッ…
■極・超?真空の?精度な質量分析 ■表?分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析 ■微量ガス分析(TDS/Out Gas) ■封?デバイス/MEMSのガス分析及び、E-15Pa・m3/sレベルのリーク試...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか?
答えはこちら!質量分析のソリューションと事例をご紹介!
で、ESDガス放出を低減。 電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。 【アプリケーション例】 ■XHV/UHVの高精度なガス分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析 ■微量ガス分析(TDS/Out Gas) ■封止デバイス/MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリー...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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答えはこちら!極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介!
弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』では破壊及び、 リーク量(10^-15Pa・m3/s 以下)の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに! ★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置 ■産総研殿の測定精度評価を取得 ■破壊...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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