超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』

紫外線照射式＋活性炭式でオゾンを分解。半導体や液晶製造プロセスで活躍

分解塔下部のIN側から入り塔内に溜められたオゾン水に溶解しているオゾンを 紫外線ランプ（254nm）の光で分解。さらに、分解塔の後段に設置した 活性炭槽でオゾンの分解を促進します。 半導体や液晶製造プロセスで活躍する製品です。 【標準仕様】 分解原理：紫外線照射式＋活性炭式 分解対象液：純オゾン水 分解液温度：20～50℃（周囲温度：15～40℃、90％RH以下） 使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプリクス