超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』

紫外線照射式＋活性炭式でオゾンを分解。半導体や液晶製造プロセスで活躍

分解塔下部のIN側から入り塔内に溜められたオゾン水に溶解しているオゾンを 紫外線ランプ（254nm）の光で分解。さらに、分解塔の後段に設置した 活性炭槽でオゾンの分解を促進します。 半導体や液晶製造プロセスで活躍する製品です。 【標準仕様】 分解原理：紫外線照射式＋活性炭式 分解対象液：純オゾン水 分解液温度：20～50℃（周囲温度：15～40℃、90％RH以下） 使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプリクス

インライン溶存オゾン計　マイコン型

インライン溶存オゾン計　マイコン型

半導体プロセスなどで使用されるオゾン添加純水中の溶存オゾン濃度をインラインにてモニターする紫外線吸光光度方式の計器です。 配管口径はΦ６×４～１インチまで（継ぎ手による為、詳細はお問合せください）様々な現場環境に対応しています。 濃度レンジも、０～10ppm　から　０～240ppmまで マイコンを内蔵しているので、個体差のある低圧水銀ランプの運用を安定的に測定可能です。 古くなっ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプリクス

溶存オゾン濃度計分離型　無指示伝送型

半導体プロセスで使用されるオゾン添加純水中のオゾン濃度計測に最適

OD-UNDシリーズは、半導体プロセスなどで使用されるオゾン添加純水中の溶存オゾン濃度をモニターする紫外線吸光光度方式の液相用計器です。 機能においては必要最低限の機能と必要不可欠な機能を融合させ、それぞれの特長を最大限に発...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプリクス

【導入事例】オゾンガス発生器

ウイルス・カビのオゾンガス除菌・脱臭。コンパクトで持ち運びが便利。高濃…

【オゾンガスモニタ導入先業界】 ○半導体用装置メーカー →半導体工場で使用されるオゾン水及び洗浄機に搭載されています。 ○環境機器メーカー →環境用の医療機器、研究施設向けオゾン殺菌装置に搭載されています。 ○食品メーカー →...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプリクス

溶存オゾン濃度計分離型　低濃度用

半導体製造プロセスで使用されるオゾン添加純水中のオゾン濃度計測に最適

OM-101型シリーズは、半導体製造プロセスなどで使用されるオゾン添加純水中の溶存オゾン濃度をモニターする計器です。 設置が簡単で場所をとらず、操作性も優れています。 小型軽量、インラインタイプの検出器、シンプル構造で取り扱...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプリクス

紫外線吸光光度方式：溶存オゾン計について

幅広い濃度に対応！紫外線吸光光度方式溶存オゾン計の特長や測定原理などを…

当資料は、紫外線吸光光度方式の溶存オゾン計についてご紹介しています。 特長をはじめ、測定原理や製品ラインアップなどを、写真や図を用いて詳しく掲載！ アプリクス製の溶存オゾン計は、半導体･液晶分野における、 お客様の性能要求やご要望にお答えするべく開発された、 「アナログセンサ」にこだわった製品をご提供しております。 是非、ダウンロードしてご一読ください。 【掲載...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプリクス